ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Архив статей журнала

НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, НАПЫЛЕННЫХ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ: РЕЗУЛЬТАТЫ АТОМИСТИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ (2024)
Выпуск: № 1 (2024)
Авторы: Григорьев Федор Васильевич, Сулимов Владимир Борисович, ТИХОНРАВОВ АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ

Предложенный ранее метод молекулярно-динамического моделирования напыления тонких пленок из металлических мишеней адаптирован к случаю диэлектрических мишеней и применен к пленкам диоксида кремния. Возможность вылета из мишеней не только атомов кремния, но и кластеров с атомами кислорода учтена путем добавления в поток осаждаемых атомов молекул O=Si=O. Получены атомистические кластеры пленок при высокоэнергетическом и низкоэнергетическом напылении при различном процентном содержании молекул в потоке осаждаемых атомов. Рассчитаны величины компонент тензора напряжений. При высокоэнергетическом напылении наблюдаются сжимающие напряжения, при низкоэнергетическом - растягивающие. Абсолютные величины диагональных компонент тензора напряжений растут с увеличением доли молекул в потоке осаждаемых атомов.

Сохранить в закладках