Архив статей журнала

Расчет коэффициентов распыления оксидных пленок с поверхности однородного материала ионами гелия средних энергий (2021)
Выпуск: № 4 (2021)
Авторы: Манухин Владимир Владимирович

Представлена аналитическая модель распыления двухкомпонентных слоистых неоднородных мишеней бомбардировкой легкими ионами. Получена аналитическая формула, позволяющая рассчитать полный и парциальный коэффициенты распыления бинарного слоя неоднородности мишени легкими ионами. Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования.

Сохранить в закладках