Выполнены проектирование и сборка экспериментальной малогабаритной электроэрозионной установки, предназначенной для исследования закономерностей электроэрозионной обработки жаропрочных, твердых и труднообрабатываемых материалов. В установке заложены широкие возможности по изменению скорости подачи электрода-инструмента и режимов резания, включая параметры электрических импульсов, подаваемых на электрод-инструмент. Проведены эксперименты режимов работы электрода-инструмента для поиска оптимального режима резанья материала фильеры.
Рассмотрены особенности монокристаллических и поликристаллических материалов электроники, накладывающие ограничения на выбор технологии разделения пластин из таких материалов на отдельные кристаллы. Выполнен анализ различных технологий разделения монокристаллических пластин на кристаллы и обозначены области их применения с учетом обрабатываемого материала, глубины нарушенного слоя и геометрии обрабатываемой поверхности. Определены ограничения на традиционные и современные способы разделения пластин из различных материалов электроники на отдельные кристаллы.