Статья: СПЕКТРОСКОПИЯ МЕТАНСОДЕРЖАЩЕЙ ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ СВЧ-РАЗРЯДА

Методы оптической эмиссионной спектроскопии (400-900 нм) и реабсорбции использованы для диагностики водородной СВЧ·плазмы с малыми добавками СН4, Аг, Хе, N2 и воздуха при полном давлении 0,5–5 торр. Полная поглощенная плазмой мощность 1-55 Вт. Зависимость изменения интенсивностей излучения водородных линий от типа газовой добавки может быть связана с изменением условий баланса заряженных частиц. Показано влияние предварительной обработки поверхности разрядной трубки на концентрации возбужденных частиц плазмы. Обсуждаются ограничения метода актинометрии

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
1994
Автор(ы)
Лебедев Ю. А., Солдатова И. В., Холодкевич О. И.
Каталог SCI
Физика

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.