Статья: СПЕКТРОСКОПИЯ МЕТАНСОДЕРЖАЩЕЙ ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ СВЧ-РАЗРЯДА
Методы оптической эмиссионной спектроскопии (400-900 нм) и реабсорбции использованы для диагностики водородной СВЧ·плазмы с малыми добавками СН4, Аг, Хе, N2 и воздуха при полном давлении 0,5–5 торр. Полная поглощенная плазмой мощность 1-55 Вт. Зависимость изменения интенсивностей излучения водородных линий от типа газовой добавки может быть связана с изменением условий баланса заряженных частиц. Показано влияние предварительной обработки поверхности разрядной трубки на концентрации возбужденных частиц плазмы. Обсуждаются ограничения метода актинометрии
Информация о документе
- Формат документа
- Кол-во страниц
- 1 страница
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем