Статья: СПЕКТРОСКОПИЯ МЕТАНСОДЕРЖАЩЕЙ ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ СВЧ-РАЗРЯДА

Методы оптической эмиссионной спектроскопии (400-900 нм) и реабсорбции использованы для диагностики водородной СВЧ·плазмы с малыми добавками СН4, Аг, Хе, N2 и воздуха при полном давлении 0,5–5 торр. Полная поглощенная плазмой мощность 1-55 Вт. Зависимость изменения интенсивностей излучения водородных линий от типа газовой добавки может быть связана с изменением условий баланса заряженных частиц. Показано влияние предварительной обработки поверхности разрядной трубки на концентрации возбужденных частиц плазмы. Обсуждаются ограничения метода актинометрии

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
1994
Автор(ы)
Лебедев Ю. А., Солдатова И. В., Холодкевич О. И.
Каталог SCI
Физика