Статья: Влияние энергии ионов пучка Si+ на образование дефектов и твердофазную рекристаллизацию вблизи границы раздела кремний-сапфир

Скачать

В работе исследовано образование дефектов и последующая твердофазная рекристаллизация в пленках кремния на сапфире в процессе облучения ионами кремния с энергиями в диапазоне от 170 до 230 кэВ при различных температурах подложки. С помощью методики резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием обнаружено, что полное разрушение сильнодефектной области зависит от энергии имплантируемых ионов. Энергия разупорядочения сильнодефектной области при температуре жидкого азота — 200 кэВ, а при комнатной температуре — 230 кэВ.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Шемухин Андрей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2015
Автор(ы): Шемухин А. А., Назаров А. В., Кожемяко А. В., Балакшин Ю. В.
Ключевые фразы: ионная имплантация, кремний на сапфире, образование дефектов, аморфизация, резерфордовское обратное рассеяние
Каталог SCI: Физика
УДК: 539.534.9. Действие пучков ионов

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: Общая физическая география и геоморфология

02. Книга: Вулканические структуры обрушения Охотско-Чукотского вулканического пояса

03. Книга: Природа и ландшафты Подворонежья

04. Книга: Индийская философия и мировая культура

05. Книга: Физика и физико-химия рудообразующих процессов

06. Книга: Антропоген Приазовья

07. Книга: Термодинамические аспекты геохимии природных газов. Часть 1

08. Книга: Верхнепалеолитическая стоянка Сунгирь

09. Книга: Геологическое строение зон активного кайнозойского вулканизма

10. Книга: Термодинамический режим глубинного петрогенеза

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.