Статья: Параметры и варианты построения устройства формирования мишени для генерации излучения в рентгеновском спектральном диапазоне

Скачать

Для увеличения плотности элементов микросхем при фотолитографии предложено использовать лазерно-плазменные источники при оптическом пробое. Наивысшая эффективность генерации излучения в рентгеновском диапазоне на длине волны 6,7 нм достигается при использовании плазмы тугоплавких редкоземельных элементов гадолиния и иттербия в газовой фазе. Рассматриваются основные параметры и варианты построения устройства формирования мишени для оптического пробоя на основе аналога – электродугового источника плазмы на парах щелочного металла. Проведено исследование требований к устройству: выполнены термо- и газодинамические расчеты и оценки. В качестве нагревателя предложено использовать нагрев генератором электронного пучка на основе открытого разряда в буферном газе. Выполнены расчеты длины пробега электронов и плотности энерговыделения в плазме. Приведены оценки энергетической эффективности создания мишени при нагреве устройства пучком электронов.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Шлойдо Андрей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2026
Автор(ы): Шлойдо А. И., Туркин А. В., Саркаров Н. Э., Михайлов А. Д., Чернов Д. О., Иванов В. В., Кривцун В. М., Гаязов Р. Р.
Ключевые фразы: рентгеновская литография, устройство формирования мишени, лазерно-плазменные источники, ОПТИЧЕСКИЙ ПРОБОЙ, электродуговые источники плазмы, плазматрон, генераторы электронных пучков, открытый разряд, УБЕГАЮЩИЕ ЭЛЕКТРОНЫ, параметры потока, плотность энерговыделения, ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, длина пробега электронов
Каталог SCI: Физика
УДК: 533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы

Ранее вы смотрели (1)

01. Статья: Сравнение различных методов для измерения модуля упругости Юнга наноструктурированных материалов на примере титана

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.