Статья: Моделирование процессов геттерирования генерационно-рекомбинационных центров в кремнии при диффузии фосфора и бора

Скачать

Используя сравнение экспериментальных данных с результатами расчетов на основе модели процессов геттерирования, показано, что основным механизмом геттерирования генерационно-рекмбинационных центров (ГРЦ) при диффузии фосфора является формирование ионых пар P+-Fe2-. При диффузии бора основным геттером является слой боросиликатного стекла. Определены зависимости эффективности геттерирования от параметров процесса.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Якимов Юрий
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2015
Автор(ы): Якимов Ю. А., Климанов Е. А.
Ключевые фразы: диффузия, фосфор, генерационно-рекомбинационные центры, геттерирование
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (6)

01. Статья: ТРИ ПОГРЕБЕНИЯ С АТТИЧЕСКОЙ КЕРАМИКОЙ ИЗ НЕКРОПОЛЯ ВОЛНА-1 (РАСКОПКИ 2016 ГОДА)

02. Книга: Лекции обществ по распространению политических и научных знаний. Пламенный борец за коммунизм С. Г. Шаумян

03. Статья: НОВЫЕ ИНСТРУМЕНТЫ МОНИТОРИНГА КАЧЕСТВА. АНАЛИЗ ПОТРЕБЛЕНИЯ КОНТЕНТА НА РАЗРЕЖЕННЫХ ДАННЫХ

04. Книга: Обогащение руд черных металлов

05. Книга: Анатомия (Я познаю мир)

06. Статья: СТРАТЕГИЧЕСКИЕ ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ ОТРАСЛИ ЦВЕТНЫХ МЕТАЛЛОВ: ПРОБЛЕМЫ И ЗАДАЧИ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.