Статья: Влияние частоты поля на особенности плазменной обработки полимеров

Скачать

Проведен сравнительный анализ особенностей травления поверхностных слоев полимерных материалов в условиях плазмы низкочастотных (звуковых) и высокочастотных разрядов. Для различных конструкций плазмохимических реакторов в рамках феноменологического подхода проанализирована специфика процессов травления. Показано, что наличие области отрицательного свечения в тлеющих разрядах звукового диапазона частоты (ТРЗЧ) объясняет сравнимые значения скорости травления в тлеющих разрядах радиодиапазона (ТРРЧ) и ТРЗЧ при близких значениях поглощаемой мощности при различающихся на порядок значениях токов. Приводится ряд соображений, которые необходимо учитывать при выборе плазменного источника для конкретного процесса травления.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Марусин Владлен
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2015
Автор(ы): Марусин В. В., Щукин В. Г.
Ключевые фразы: низко- и высокочастотный объемные разряды, пониженное давление, влияние частоты на параметры разряда
Каталог SCI: Физика
УДК: 53. Физика

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: Влияние ионов Al на оптические и кинетические свойства эпитаксиальных пленок (Pb, Gd)3(Al, Ga)5O12: Ce

02. Статья: Оптимизация структуры и материала автокатода

03. Книга: МЕТОДЫ ОБРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ И ОЦЕНКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ В УЧЕБНОМ ЛАБОРАТОРНОМ ПРАКТИКУМЕ учебное пособие

04. Статья: САПРОПЕЛЬ КАК СПОСОБ БОРЬБЫ С МИКОТОКСИНАМИ

05. Книга: Общий курс физики

06. Статья: INTERACTION OF SPACE AND MATTER ELEMENTS DURING MELTING AND CRISTALLISATION OF METALS AND ALLOYS

07. Книга: Архитектура Монголии

08. Статья: ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ОПТИМУМ ИННОВАЦИОННОГО ТРЕНДА РЕГИОНА

09. Книга: Дворцы Санкт-Петербурга. Наследие Романовых

10. Книга: Основы статистической физики и термодинамики

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.