Статья: Влияние вакуумного отжига на электрофизические свойства пленок оксида ванадия, полученных методом реактивного магнетронного осаждения при постоянном токе

Скачать

В работе представлены результаты исследования влияния вакуумного отжига на микроструктуру, фазовый состав и электрофизические свойства пленок VOX, полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Исследование кристаллической структуры и фазового состава проводилось методом рентгеноструктурного анализа в геометрии параллельного пучка. Определение электрофизических свойств пленок VOX было проведено с помощью метода длинной линии. Было установлено, что вакуумный отжиг осажденных при комнатной температуре пленок VOX, имеющих рентгено-аморфную структуру, сопровождается снижением содержания кислорода, приводящим к уменьшению сопротивления и ТКС с сохранением аморфной структуры при 200 оС и образованием кристаллических фаз VO2 и V4O7 при 300 оС и 400 оС соответственно.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Баранов Александр
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2016
Автор(ы): Баранов А. А., Третьякова М. С., Жукова С. А., Турков В. Е.
Ключевые фразы: неохлаждаемый, микроболометр, оксид ванадия, реактивное магнетронное осаждение, метод длинной линии
Каталог SCI: Физика
УДК: 539.216.2. Пленки. Тонкие пленки
681.7. Оптические приборы и аппаратура

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: Цицианов

02. Статья: МОДЕЛИРОВАНИЕ ДВИЖЕНИЯ ВОЗДУШНЫХ МАСС В КОТЛОВАНАХ ПРИ СТРОИТЕЛЬСТВЕ ОБЪЕКТОВ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА

03. Книга: К. К. Гедройц. Избранные труды

04. Книга: Дигорский диалект осетинского языка

05. Статья: ИКОНА "БОГОМАТЕРЬ УМИЛЕНИЕ" КНЯЗЯ ВАСИЛИЯ ОБЕДОВА ИЗ СОБРАНИЯ СЕРГИЕВО- ПОСАДСКОГО МУЗЕЯ: К ВОПРОСУ ОБ УТОЧНЕНИИ ИКОНОГРАФИЧЕСКОГО ТИПА И ДАТИРОВКИ

06. Статья: КЛИНИЧЕСКИЙ СЛУЧАЙ ЭПИДЕМИЧЕСКОГО ПАРОТИТА, ПРОТЕКАВШЕГО С ОРХОЭПИДИДИМИТОМ У ПОДРОСТКА

07. Статья: "ТОКСИЧНЫЙ МЕДИАТЕКСТ" КАК НОВЫЙ ТЕРМИН: ОПЫТ КОНЦЕПТ-АНАЛИЗА

08. Статья: Методологии формирования структур информационных систем хранения анализа данных о пациенте

09. Статья: ВКЛАД СПЕЦИАЛИСТОВ ЛЕНИНГРАДА В СОЗДАНИЕ ПЛАВУЧИХ НАУЧНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ И КОМАНДНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ КОМПЛЕКСОВ. ЧАСТЬ I. ПЕРЕОБОРУДОВАНИЕ ГРАЖДАНСКИХ СУДОВ В МОРСКИЕ КОСМИЧЕСКИЕ НАУЧНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ КОМПЛЕКСЫ (КОНЕЦ 1950-Х - 1960-Е ГОДЫ)

10. Книга: Перевод в сфере металлургии (первый иностранный язык)

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.