Статья: Образование кристаллических структур на поверхности «горячей» мишени ZnO при магнетронном распылении

Скачать

В данной работе впервые представлены результаты магнетронного распыления неохлаждаемой керамической мишени ZnO в атмосфере кислорода. При высоких плотностях разрядного тока (j > 60 мА/см2) мишень разогревается до температуры более 1000 оС. Приведены характерные изображения рельефа поверхности мишени, полученные с помощью растровой электронной микроскопии. В зоне эрозии мишени формируется характерная морфология, а в областях, примыкающих к ней (край и центр мишени) наблюдается формирование рельефа в виде специфических кристаллических структур, форма и размеры которых зависят от давления рабочего газа в системе и температуры мишени. Предполагается, что к процессам каскадного распыления, характерным для распыления охлаждаемых мишеней, при распылении «горячих» мишеней добавляются радиационно-ускоренные процессы диффузии и испарения.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Исмаилов Абубакр (Абакар)
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2016
Автор(ы): Исмаилов А. (., Гамматаев С. Л., Рабаданов М. Р., Алиев И. Ш., Эмирасланова Л. Л.
Ключевые фразы: магнетронное распыление, оксид цинка, неохлаждаемая («горячая») мишень, зона эрозии мишени, морфология поверхности, растровая электронная микроскопия
Каталог SCI: Физика
УДК: 548.5. Зарождение, рост и растворение кристаллов
621.793.182. Катодное распыление

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (9)

01. Статья: РАЗРАБОТКА СПОСОБА ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЩЕЛАЧИВАЮЩЕГО РЕАГЕНТА ДЛЯ ФРАКЦИОНИРОВАНИЯ ЖИДКИХ СТОКОВ СВИНОВОДЧЕСКИХ ФЕРМ С ПОЛУЧЕНИЕМ ПРОДУКТА С ВЫСОКОЙ АГРОМЕЛИОРАТИВНОЙ ЦЕННОСТЬЮ

02. Статья: ПРИНЦИПЫ ДИАГНОСТИРОВАНИЯ И СИТУАЦИОННОГО УПРАВЛЕНИЯ АНТРОПОГЕННОЙ БЕЗОПАСНОСТЬЮ ЭЛЕКТРОУСТАНОВОК АПК

03. Статья: Вспышка ВИЧ-инфекции в конце 1980-х гг. на юго-востоке РСФСР: политика советского государства в борьбе с эпидемией (на материалах Калмыцкой АССР)

04. Статья: ХАРАКТЕРИСТИКА РЕЦЕПТОРНОГО ПРОФИЛЯ КЛЕТОК АДАПТИВНОГО ЗВЕНА ИММУНИТЕТА И ЦИТОКИНОВОГО СТАТУСА У ПАЦИЕНТОВ С БРОНХИАЛЬНОЙ АСТМОЙ

05. Статья: НАКОПЛЕННЫЙ ВРЕД ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЕ: ИСТОЧНИКИ И ВИДЫ ЗАГРЯЗНЕНИЯ

06. Статья: О НЕКОТОРЫХ НАПРАВЛЕНИЯХ АНТИКОРРУПЦИОННОЙ ГОСУДАРСТВЕННОЙ ПОЛИТИКИ В СОВРЕМЕННОЙ РОССИИ (В ЭКСПЕРТНЫХ ОЦЕНКАХ СОТРУДНИКОВ ПРАВООХРАНИТЕЛЬНЫХ ОРГАНОВ)

07. Статья: Роль рыночной концентрации и разнообразия в исследовании взаимосвязи между финансовым рычагом и производительностью компании

08. Статья: Развитие интеллектуальной собственности в инновационной экономике России

09. Статья: Сравнительный анализ эффективности антибиотикотерапии и комбинированного применения антибиотиков с лактобактериями и проантоцианидинами в лечении бессимптомной бактериурии у юных беременных: рандомизированное проспективное исследование

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.