Статья: Многосеточные энергоанализаторы задерживающего потенциала для измерения функции распределения ионов по энергиям из плазмы высокочастотного емкостного разряда

Скачать

Настоящая работа посвящена численному и экспериментальному исследованию влияния элементов конструкции энергоанализатора на разрешающую способность прибора при измерении функции распределения ионов по энергии, ускоренных в приэлектродном слое высокочастотного емкостного разряда. С помощью трехмерного численного моделирования движения заряженных частиц показано, что аппаратная функция прибора сильно зависит от взаимной ориентации ячеек сеток. Показано, что уширение энергетического спектра заряженных частиц в энергоанализаторе в большой мере зависит от величины провисания потенциала в ячейках анализирующей сетки. Приведены формулы для количественной оценки уширения энергетического спектра заряженных частиц для энергоанализаторов, в которых используются сетки с квадратными или шестиугольными ячейками.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Кобелев Антон
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2017
Автор(ы): Кобелев А. А., Андрианов Н. А., Хилькевич Е. М., Черноизюмская Т. В., Смирнов А. С.
Ключевые фразы: многосеточный энергоанализатор задерживающего потенциала, высокочастотный емкостный разряд, источник электронов
Каталог SCI: Физика
УДК: 533.9.082. Основы методов диагностики плазмы

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: Робот-ассистированная дистальная панкреатэктомия с сохранением селезенки при лечении ребенка с солидной псевдопапиллярной опухолью

02. Статья: SELF-MANAGEMENT IN PHYSICAL ACTIVITY AND SPORT

03. Статья: РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОННОГО УЧЕБНОГО ПОСОБИЯ ПО ДИСЦИПЛИНЕ "ОЛИМПИАДНЫЕ ЗАДАЧИ ПО МАТЕМАТИКЕ"

04. Статья: К ВОПРОСУ О РАННЕЙ СПОРТИВНОЙ СПЕЦИАЛИЗАЦИИ

05. Статья: Пространственное распределение излучения импульсных ксеноновых ламп с различной конфигурацией плазменного канала

06. Статья: ЭВОЛЮЦИОННЫЙ ПУТЬ РАЗВИТИЯ ПРАВОВОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ИМУЩЕСТВЕННЫХ ОТНОШЕНИЙ СУПРУГОВ

07. Статья: СОЗДАНИЕ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА СТАЛИ 35 МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОИСКРОВОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ПОРОШКОМ, ПОЛУЧЕННЫМ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННЫМ ДИСПЕРГИРОВАНИЕМ ТВЕРДОГО СПЛАВА Т5К10

08. Статья: НЕКОТОРЫЕ ВОПРОСЫ ПОЛУЧЕНИЯ ОПЕРАТИВНО ЗНАЧИМОЙ И КРИМИНАЛИСТИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ ИЗ ОБЛАЧНЫХ ХРАНИЛИЩ

09. Статья: Инерция формы оценки показателя распределения Парето

10. Статья: СОЦИАЛЬНЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ О ГЕНДЕРНЫХ АСПЕКТАХ ПРОЯВЛЕНИЯ ВЕРБАЛЬНОЙ АГРЕССИИ ПОДРОСТКОВ В СОЗНАНИИ УЧИТЕЛЕЙ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.