Статья: Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана (обзор)

Скачать

Обзор посвящен анализу преимуществ и недостатков существующих реактивных методов осаждения пленок оксида титана. Особое внимание уделено традиционным методам – магнетронному распылению в атмосфере активных газов и вакуумно-дуговому осаждению, а также обсуждаются возможности реактивного электронно-лучевого испарения, в том числе альтернативного электронно-лучевого испарения титана в форвакууме (1–15 Па) в атмосфере кислорода с последующим осаждением паров на подложку. Показано, что к преимуществам электронно-лучевого испарения в форвакууме следует отнести простоту реализации и возможность получения стехиометрических пленок TiO2, причем при более высокой скорости осаждения и меньшем энергопотреблении.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Золотухин Денис
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2017
Автор(ы): Золотухин Д. Б., Бурдовицин В., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г., Окс Е., Голосов Д. А., Завадский С. М.
Ключевые фразы: реактивное осаждение, тонкие пленки оксида титана, магнетронное распыление, вакуумно-дуговое осаждение, реактивное электронно-лучевое испарение
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.533.9. Действие пучков электронов
537.563. Способы ионизации газов

Ранее вы смотрели (7)

01. Статья: Фотонный отжиг при изготовлении планарных фотодиодов из антимонида индия

02. Книга: Очерки по истории материализма

03. Книга: Колумбия

04. Книга: История XIX века. Том VIII. Конец века. 1870 - 1900. Часть вторая

05. Статья: Исследование погрешности определения параметров спектральной характеристики ИК и УФ фотоприемных устройств

06. Статья: Магнитомодуляционный преобразователь для измерения слабого низкочастотного магнитного поля

07. Книга: Из истории великих русских географических открытий

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.