Статья: Исследование свойств нераспыляемых геттеров на базе титан-тантала

Скачать

В условиях низкой молекулярной проводимости вакуумных камер ряда электрофизических установок и интенсивной десорбции молекул газа с их стенок под действием фотонностимулированной десорбции для достижения динамического давления на уровне 10-9 Торр необходима дополнительная система распределенной откачки. В настоящее время для этого используют нераспыляемые геттерные покрытия, нанесенные на внутреннюю стенку вакуумной камеры. Наилучшими параметрами обладает геттерное покрытие Ti-Zr-V, которое запатентовано в CERN и которое хорошо себя зарекомендовало во многих ускорительных комплексах, например, таких как LHC, BEPC-II, MAX-IV, KEK. Это покрытие может быть активировано при температуре 180 ºС в течение 24 часов и при этом иметь хорошую повторяемость в газопоглощающих характеристиках. В данной статье даны результаты активационных и газопоглощающих свойств для различных геттеров на базе титан-тантала, напыленных на внутреннюю стенку вакуумной камеры круглого сечения диаметром 100 мм и изготовленную из нержавеющей стали марки 316 L. Одновременно приводится сравнение с геттером Ti-Zr-V по этим характеристикам. Определение химического состава покрытия геттера проводилось на станции «РФА-СИ» на ВЭПП-3 в ИЯФ СО РАН на образцах, установленных во время напыления на торце камеры.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Краснов Александр
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2017
Автор(ы): Краснов А. А., Семенов А. М.
Ключевые фразы: вакуумная откачка, нераспыляемый геттер, покрытие, активация, тантал, титан
Каталог SCI: Физика
УДК: 533. Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: Теоретическая арифметика

02. Статья: Математическая модель альтернативного метода измерения спектральной чувствительности ИК матричного фотоприемного устройства

03. Статья: АНТРОПОЛОГИЯ В УСЛОВИЯХ НЕОПРЕДЕЛЕННОСТИ. РАЗМЫШЛЕНИЯ О ДИНАМИКЕ И СТАТИКЕ НАУЧНОГО ТВОРЧЕСТВА

04. Статья: КУДА ВЕДЕТ ТУРЕЦКИЙ МАРШРУТ?

05. Книга: Геометрия

06. Статья: ОСОБЕННОСТИ СЕНСОМОТОРНОГО РЕАГИРОВАНИЯ У ЮНЫХ СПОРТСМЕНОВ, ЗАНИМАЮЩИХСЯ АКРОБАТИЧЕСКИМ РОК-Н-РОЛЛОМ

07. Статья: Применение вакуумных методов напыления при формировании топологии элементов микросхем

08. Статья: ПРИСОЕДИНИТЕЛЬНЫЕ И ПАРЦЕЛЛИРОВАННЫЕ КОНСТРУКЦИИ, РАСПОЛОЖЕННЫЕ ПОСЛЕ ТОЧКИ, КАК ЕДИНОЕ СТРУКТУРНО-СЕМАНТИЧЕСКОЕ ОБРАЗОВАНИЕ РУССКОГО ЯЗЫКА

09. Статья: Развитие читательской самостоятельности школьников в процессе чтения на бурятском языке

10. Статья: АНАТОМО-МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ СТРОЕНИЯ ЛИСТА CHIMAPHILA UMBELLATA НА ПРОМЫШЛЕННЫХ ОТВАЛАХ (СРЕДНИЙ УРАЛ)

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.