Статья: Структура пленок AlN, полученных нитридизацией слоев алюминия на сапфировых подложках

Скачать

Методами электронографии, электронной и рентгеновской дифракции изучено строение пленок, полученных отжигом в азоте предварительно нанесенных слоев металлического алюминия на (0001) поверхность сапфировых пластин. Пленки нитрида алюминия на подложках сапфира растут, в соответствии с ориентационным соотношением (0001)<10 1 0>AlN║ ║(0001)<11 2 0>Al2O3. Наилучшие результаты были получены при нитридизации алюминиевых пленок на сапфире в режиме нагрева до температуры 1200 °С (со скоростью нагрева ~100 °С/час) и выдержке в течении 1 часа.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Буташин Андрей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2017
Автор(ы): Буташин А. В., Муслимов А. Э., Колымагин А. Б., Клевачев А. М., Сульянов С. Н., Каневский В. М.
Ключевые фразы: сапфир, дифракция, ПЛЕНКИ, нитридизация
Каталог SCI: Физика
УДК: 535.016. Оптические явления, зависящие от свойств поверхностей раздела
539.231. механическим путем, например напылением

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: ПОПЫТКА ЛИКВИДАЦИИ КИРИЛЛИЧЕСКОЙ ПИСЬМЕННОСТИ В СССР В 1920-Е - 1930-Е ГГ.: ПОЛИТИКА И ПРАКТИКА

02. Статья: НЕОШАМАНИЗМ В РОССИИ: РЕЛИГИОЗНОЕ ВОЗРОЖДЕНИЕ ИЛИ ПРОДУКТ СОВРЕМЕННОЙ КУЛЬТУРЫ?

03. Статья: ОПТИМИЗАЦИЯ И РАЦИОНАЛИЗАЦИЯ ПОДАЧИ ЗАЯВОК НА ГРАНТОВОЕ И ПРОГРАММНО-ЦЕЛЕВОЕ ФИНАНСИРОВАНИЕ В РЕСПУБЛИКЕ КАЗАХСТАН

04. Статья: РОЛЬ ИНФОРМАЦИОННО-КОММУНИКАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В СОВРЕМЕННОМ ПРОЦЕССЕ ОБУЧЕНИЯ

05. Статья: ПРОБЛЕМЫ ПЕДАГОГИЧЕСКОГО ВОСПИТАНИЯ (ОБРАЗОВАНИЯ) РОССИЙСКОЙ МОЛОДЁЖИ

06. Статья: ОСОБЕННОСТИ ВЗАИМОСВЯЗИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ ИДЕНТИЧНОСТИ И ЛИЧНОСТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК СТУДЕНТОВ

07. Статья: КОММУНИКАТИВНЫЕ СТРАТЕГИИ И ЖУРНАЛИСТСКИЕ ПОДХОДЫ В РОССИЙСКИХ МЕДИА К ОСВЕЩЕНИЮ ТЕМЫ РАССТРОЙСТВА ПИЩЕВОГО ПОВЕДЕНИЯ

08. Статья: СЕМАНТИКА И ПРАГМАТИКА УПОМИНАНИЙ ЧИНГИСХАНА В ТЕКСТАХ БУРЯТСКОЙ ЛИТЕРАТУРЫ ХХ ВЕКА*

09. Статья: НОВЫЕ ПАРЕМИИ С МАСКУЛИННЫМ МАРКЕРОМ В АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ: КОМБИНАТОРНО-СЕМАНТИЧЕСКИЙ АСПЕКТ

10. Статья: КУЛЬТУРОЛОГИЧЕСКИЕ РАКУРСЫ ПРОБЛЕМЫ СТАНОВЛЕНИЯ ЮНОШЕСТВА (НА МАТЕРИАЛЕ РУССКОЙ ПРОЗЫ ХХ-ХХI ВВ.: А. И. КУПРИН, В. С. ПИКУЛЬ, В. Н. ГОФМАН)

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.