Статья: Режимы шлифования и полирования пластин из сапфира и карбида кремния, содержащих СВЧ монолитные интегральные схемы

Скачать

В работе проведено исследование режимов производственных операций одностороннего шлифования и полирования подложек приборных пластин сапфира и карбида кремния с целью получения высокого качества обработанной поверхности. При достижении в течение операций шлифования и полирования толщины подложки 150 мкм получено высокое качество поверхности с показателем шероховатости около 2 нм и разбросом по толщине пластины не более 2 мкм.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Трофимов Александр
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2017
Автор(ы): Трофимов А.
Ключевые фразы: приборные пластины, сапфир, карбид кремния, свч мис, одностороннее шлифование и полирование
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.382. Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: ВОЛНОВЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЗАМАГНИЧЕННОЙ ПЛАЗМЕ АНИЗОТРОПНОГО ПОЛУМЕТАЛЛА

02. Статья: ВИНА ЮРИДИЧЕСКОГО ЛИЦА В АДМИНИСТРАТИВНОМ ПРАВЕ: ПОСТАНОВКА ПРОБЛЕМЫ

03. Статья: ОТ КУБИЗМА К ПУРИЗМУ (В СВЯЗИ С ГРУППОЙ РИСУНКОВ ИЗ СОБРАНИЯ ГМИИ ИМ. А. С. ПУШКИНА)

04. Книга: Борис Слуцкий

05. Статья: ПТИЦЫ РОССИИ И СОПРЕДЕЛЬНЫХ РЕГИОНОВ: ПЕРЕВОЗЧИК

06. Книга: Гидродинамическая теория смазки

07. Книга: Промысел белки самоловами

08. Книга: ПСИХОЛОГИЯ ТРУДА, ИНЖЕНЕРНАЯ ПСИХОЛОГИЯ И ЭРГОНОМИКА

09. Статья: МУДРОСТЬ ВАКХА: ЭМБЛЕМАТИЧЕСКИЕ, ИКОНОГРАФИЧЕСКИЕ И ЛИТЕРАТУРНЫЕ АЛЛЮЗИИ В ЭРМИТАЖНОЙ КАРТИНЕ П. П. РУБЕНСА

10. Статья: Анализ показателей заболеваемости личного состава МВД России

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.