Статья: Исследование глубины и скорости ионного травления QWIP-структур

Скачать

В работе исследованы зависимости скорости ионно-лучевого травления верхнего контактного слоя (GaAs: Si), активной области, состоящей из пятидесятикратного чередования барьерных слоев (AlxGa1-xAs) и квантовых ям (GaAs: Si), нижнего контактного слоя (GaAs: Si) по глубине QWIP-структур на основе GaAs-AlGaAs, изготовленных методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), с целью определения влияния состава различных слоев на скорость травления и возможности завершения процесса травления на необходимую глубину по времени.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Трухачев Антон
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2019
Автор(ы): Трухачев А. В., Седнев М. В., Трухачева Н. С., Болтарь К., Дирочка А. И.
Ключевые фразы: qwip-структура, ионно-лучевое травление, длинноволновый ик-диапазон, Гетероструктуры, молекулярно-лучевая эпитаксия
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (2)

01. Статья: ESG-МЕНЕДЖМЕНТ: УПРАВЛЕНЧЕСКИЙ ПОДХОД К ОБЕСПЕЧЕНИЮ УСТОЙЧИВОГО РАЗВИТИЯ БИЗНЕСА

02. Статья: ЭКОНОМИЧЕСКОЕ НАПРАВЛЕНИЕ РАЗВИТИЯ ЕВРАЗИЙСКОЙ ИНТЕГРАЦИИ: ПРЕПЯТСТВИЯ И ПУТИ ИХ ПРЕОДОЛЕНИЯ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.