Статья: УСТАНОВКА ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ «КРАУДИОН-ИПО-11/2

Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» предназначена для ионно-
плазменной обработки наружных поверхностей и внутренних ка-
налов корпусов из ситалла, применяемых в производстве ЭВП.
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» обеспечивает проведение
следующих технологических операций:

• загрузка изделия в камеру ионно-плазменной обработки;
• безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологиче-
  ской камеры;
• напуск технологического газа/смеси газов;
• инициирование плазменного разряда и проведение техноло-
  гического процесса ионно-плазменной обработки наружных по-
  верхностей/внутренних каналов изделия в инертных газах и их
  смесях с кислородом;
• разгерметизация камеры с напуском инертного газа и выгрузка
  изделия