Книга: Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронномикроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление — электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т. д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников — физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.
Информация о документе
- Формат документа
- PDF, DJVU
- Кол-во страниц
- 242 страницы
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем
Информация о книге
- Издательство
- Металлургия
- Год публикации
- 1977
- Библиографическая запись
-
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Васичев Б. Н. М., «Металлургия», 1977. 240 с.