Статья: Тестовые структуры для исследования зависимости фотоэлектрических характеристик крупноформатных МФПУ от топологии элементов на основе InSb

Скачать

С целью получения и сравнения основных фотоэлектрических характеристик МФПУ в пределах одной крупноформатной матрицы, разработаны топологии тестовых матричных структур на основе InSb с квадратной и круглой формами фоточувствительной области, шагом элементов 10, 12, 15 и 20 мкм, предназначенных для гибридизации с БИС считывания формата 12801024 и шагом 12 мкм. Представлена структура комплекта фотошаблонов с матричными тестовыми элементами для реализации клиновидного утоньшения с целью получения сверхтонких структур с контролируемой толщиной для повышения прочности и минимизации взаимосвязи. Проанализированы возможности реализации предложенных тестовых структур.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Лопухин Алексей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2025-5-25-32
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2025
Автор(ы): Лопухин А. А., Пермикина Е. В., Лопатин В. В.
Ключевые фразы: матричные фотоприемные устройства (мфпу), матрица фоточувстви- тельных элементов (мфчэ), антимонид индия, взаимосвязь, сканирующая маска, тополо- гия, тестовая матричная структура
Каталог SCI: Физика
УДК: 53. Физика

Ранее вы смотрели (5)

01. Книга: Электронная техника в автоматике. Выпуск 8

02. Статья: Биологические особенности некоторых видов семейства яснотковые, ареал распространения и перспектива их использования в озеленении

03. Книга: Проектирование и строительство

04. Статья: МЕЖГОДОВЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ МЕЗОМАСШТАБНОЙ ДИНАМИКИ ВОД В ЮЖНОЙ ЧАСТИ ТИХОГО ОКЕАНА В 1960-2009 ГОДАХ

05. Книга: Сборник задач по термодинамике

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.