Статья: ОБРАЗОВАНИЕ ДИСЛОКАЦИЙ В ПРОЦЕССЕ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙ В GAAS

Скачать

Проведено исследование образования дислокаций в процессе диффузии примесей в GaAs. Изучено образование дислокаций в диффузионных слоях GaAs, легированных разными примесями (элементами II, IV, VI групп и переходными элементами), в зависимости от условий проведения диффузии. Показано, что в процессе диффузии примесей в диффузионных слоях GaAs происходит образование дислокаций, плотность которых в слоях, легированных до предельных поверхностных концентраций, может достигать 108 см-2. По мере уменьшения поверхностной концентрации диффундирующей примеси происходит уменьшение плотности дислокаций. Определены условия проведения диффузии, при которых дополнительные дислокации не образуются. На основании сопоставления полученных экспериментальных данных и результатов проведенного расчета сделан вывод о том, что образование дислокаций при диффузии примесей в GaAs обусловлено градиентом концентрации примеси.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Хлудков Станислав Степанович
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 0021-3411
Префикс DOI: 10.17223/00213411/64/12/160
Журнал: ИЗВЕСТИЯ ВУЗОВ. ФИЗИКА
Год публикации: 2021
Автор(ы): Хлудков С. С., Прудаев И. А., Ивонин И. В., Толбанов О. П.
Ключевые фразы: арсенид галлия, диффузия, МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ, ОБРАЗОВАНИЕ ДИСЛОКАЦИЙ
УДК: 621.315.592. Полупроводники

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (9)

01. Статья: АНАЛОГ ПРИНЦИПА МАКСИМУМА ПОНТРЯГИНА В ОДНОЙ ЗАДАЧЕ ОПТИМАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ С ПЕРЕМЕННОЙ СТРУКТУРОЙ

02. Статья: ЭТИМОЛОГИЯ СЛОВЕНСКИХ ГЕОГРАФИЧЕСКИХ НАЗВАНИЙ, СОДЕРЖАЩИХ МОРФЕМУ -OV-/-EV-

03. Статья: СИСТЕМА КОМПЛЕКСНОГО ХРАНЕНИЯ ДАННЫХ ГЕОЛОГИЧЕСКИХ ЛАБОРАТОРНЫХ ИСПЫТАНИЙ

04. Статья: РОЛЬ ЭКОСИСТЕМЫ ЦИФРОВЫХ ТРАНСПОРТНЫХ КОРИДОРОВ В ПОВЫШЕНИИ ТРАНЗИТНОГО ПОТЕНЦИАЛА ЕВРАЗИЙСКОГО ЭКОНОМИЧЕСКОГО СОЮЗА

05. Статья: КРИТЕРИИ И ПОКАЗАТЕЛИ СФОРМИРОВАННОСТИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ КУЛЬТУРЫ БУДУЩИХ ОФИЦЕРОВ АВИАЦИОННОГО ПРОФИЛЯ В УСЛОВИЯХ ВОЕННОГО УЧЕБНОГО ЦЕНТРА

06. Статья: IV МЕЖДУНАРОДНАЯ ТИХООКЕАНСКАЯ ШКОЛА-КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ЭКОНОМИКЕ

07. Статья: Рукописные книги по морской тактике адмирала С. И. Мордвинова из собрания БАН

08. Статья: «КАКИЕ МНЕНИЯ О ДЕМОНАХ У ЭЛЛИНОВ» МИХАИЛА ПСЕЛЛА (ТЕКСТ, ПЕРЕВОД И КОММЕНТАРИИ)

09. Статья: ОЦЕНКА ГОТОВНОСТИ КОМПАНИЙ К ЦИФРОВОЙ ТРАНСФОРМАЦИИ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.