Статья: ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРОТОКОЛОВ SECS/GEM В РАСПРЕДЕЛЁННЫХ КЛАСТЕРНЫХ СИСТЕМАХ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРОИЗВОДСТВА

Рассмотрены протоколы автоматизации SECS/GEM международной ассоциации SEMI для интеграции полупроводникового оборудования в общую систему автоматизированного производства и способ сопряжения технологического оборудования разных производителей путём стандартизации процедур обмена сообщениями с использованием протоколов SECS/GEM. Описана коммуникация между интегрированным кластерным оборудованием и центральным компьютером предприятия. Показаны кодирование и упаковка сообщений в SECS-II и HSMS.