Статья: Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В. В. Юдина

Скачать

Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения R̅ p и среднее нормальное отклонение проекции пробега ΔR̅ p. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления R̅ p и ΔR̅ p. Основой алгоритма программы является теория Линхарда–Шарфа–Шиота.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Утамурадова Шарифа
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2313-223X
EISSN: 2587-9693
Журнал: COMPUTATIONAL NANOTECHNOLOGY
Год публикации: 2022
Автор(ы): Утамурадова Ш. Б., Муминов Р. А., Дыскин В. Г., Тукфатуллин О. Ф.
Ключевые фразы: ион, мишень, проективный пробег, страгглинг, упругие потери энергии, неупругие потери энергии
УДК: 539.1. Ядерная, атомная, молекулярная физика

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: Дискурс самопрезентации в академическом коммуникативном пространстве

02. Статья: NARRATIVE GAPPING IN P. AUSTER’S NOVEL “4321”: TOWARDS THE PROBLEM OF “NONNARRATED” IN CONTEMPORARY NARRATIVES

03. Статья: ОТВЕТНЫЕ РЕАКЦИИ РАСТЕНИЙ НА ЗАГРЯЗНЕНИЕ ПОЧВЫ ИЗ РАЙОНОВ СНЕГОВЫХ ПОЛИГОНОВ ГОРОДА ТЮМЕНИ

04. Статья: ОСНОВНЫЕ ПРОБЛЕМЫ СТУДЕНТОВ В ИСПОЛЬЗОВАНИИ МУЛЬТИМЕДИЙНЫХ РЕСУРСОВ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ИНОСТРАННОГО ЯЗЫКА

05. Статья: ИЗМЕНЕНИЕ ПОСЕВНЫХ КАЧЕСТВ СЕМЯН ЯРОВОГО РАПСА ПРИ ДЛИТЕЛЬНОМ ХРАНЕНИИ В УСЛОВИЯХ ТЮМЕНСКОЙ ОБЛАСТИ

06. Статья: МОНИТОРИНГ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ФОРМИРОВАНИЯ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИХ КОМПЕТЕНЦИЙ МЛАДШИХ ШКОЛЬНИКОВ ИНСТРУМЕНТАМИ ТРИЗ

07. Статья: ВИБРОАКУСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТРУБОПРОВОДНОЙ ОБВЯЗКИ КОМПРЕССОРА

08. Статья: РОЛЬ ИНСТИТУЦИОНАЛЬНОЙ ИНФРАСТРУКТУРЫ В ОБЕСПЕЧЕНИИ РЕГИОНАЛЬНОЙ ЭКОНОМИЧЕСКОЙ БЕЗОПАСНОСТИ

09. Статья: АКАДЕМИЧЕСКОЕ ЧТЕНИЕ КАК СПОСОБ РАБОТЫ СО СПЕЦИАЛЬНЫМ УЧЕБНО-НАУЧНЫМ ТЕКСТОМ

10. Статья: КРИТЕРИИ ОЦЕНКИ ОТРАЖЕНИЯ ВЫРУЧКИ ПРЕДПРИЯТИЯ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.