Статья: ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ ЖЕРТВЕННОГО СЛОЯ В ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКОЙ ИК МАТРИЦЫ НА БАЗЕ КНИ СТРУКТУРЫ

Скачать

В настоящее время большое внимание исследователей привлекает разработка неохлаждаемых ИК матричных микроболометров на базе КНИ структур, что обусловлено их высоким быстродействием и температурной чувствительностью по сравнению с другими болометрическими и термопарными сенсорными элементами, работающими в ИК спектре длин волн. Важным параметром таких КНИ микроболометров является полезная площадь диэлектрической (SiO2) мембраны, поглощающей ИК излучение, и ее хорошая тепловая изоляция, что требует технологического подбора режимов травления жертвенного слоя (Si) через матрицу сквозных отверстий (окон) в SiO2 мембране. В работе проведено TCAD моделирование газофазного травления жертвенного Si слоя с учётом его толщины и размера окон. Показано, что уменьшение размера окон от 120 до 80 мкм2 приводит к снижению в 2 раза времени травления (от 480 до 240 секунд) и обеспечивает эффективное увеличение полезной поверхности чувствительного элемента микроболометра, которая разогревается от ИК излучения. Полученные результаты могут быть полезны в процессе отработки технологических операций изготовления ИК микроболометрических матриц на КНИ подложках.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Евсиков Илья
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2078-7707
Журнал: ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)
Год публикации: 2022
Автор(ы): Евсиков И. Д., Демин Г. Д., Дюжев Н. А., Фетисов Е. А., Хафизов Р. З.
Ключевые фразы: мэмс технология, неохлаждаемый ик микроболометр, кни структура, химическое травление, tcad моделирование, термопары, тепловой сенсор, жертвенный слой, диэлектрическая мембрана
УДК: 004. Информационные технологии. Компьютерные технологии. Теория вычислительных машин и систем

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: Каллиграфия танца

02. Статья: ПРИЧИНЫ ВОЗНИКНОВЕНИЯ КРИЗИСНЫХ СИТУАЦИЙ НА ПРЕДПРИЯТИИ

03. Статья: ТЬЮТОРСКИЕ КОМПЕТЕНЦИИ ПЕДАГОГА ПО ОРГАНИЗАЦИИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В ДИСТАНЦИОННОМ ОБУЧЕНИИ

04. Статья: Влияние ультразвука на развитие импульсного электрического разряда в воде

05. Статья: ПУТЬ КО ХРИСТУ ЧЕРЕЗ ПРОСВЕЩЕНИЕ: К 200‑ЛЕТИЮ СО ДНЯ РОЖДЕНИЯ МИССИОНЕРА И ПРОСВЕТИТЕЛЯ Н. И. ИЛЬМИНСКОГО

06. Статья: Гражданственность как традиционная духовно-нравственная ценность и ее формирование у сотрудников уголовно-исполнительной системы

07. Статья: ПЕРСПЕКТИВЫ РЕАЛИЗАЦИИ МЕХАНИЗМА ИННОВАЦИОННОГО ТРАНСПОРТНОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ В СФЕРЕ ТУРИЗМА И РЕКРЕАЦИИ

08. Книга: Механизмы химических реакций в неравновесной плазме

09. Статья: Верификация cfd расчета кавитации с экспериментом

10. Статья: Оптоволоконный пирометрический сенсор средневолнового ИК-диапазона для исследования термоэлектрических эффектов в сегнетоэлектрических и полупроводниковых структурах

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.