Статья: СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ВЕГА - СИСТЕМА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Изложены возможности нового прибора разработки Компании ООО «НТ-МДТ» - сканирующего зондового микроскопа «ВЕГА», способного работать с образцами размером до 200х200х40 мм с предельным для атомно-силовой микроскопии разрешением для исследования свойств и метрологического контроля поверхностных наноструктур микро и наноэлектроники.
Информация о документе
- Формат документа
- Кол-во страниц
- 1 страница
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем
- Просмотров
- 1
Предпросмотр документа
Информация о статье
- ISSN
- 2078-7707
- Журнал
- ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)
- Год публикации
- 2022