Статья: Планарная магнетронная распылительная система с инжекцией электронов и отражающим электродом

Скачать

Исследованы особенности работы разрядной системы на основе планарного магнетрона с дополнительной инжекцией электронов и коническим отражающим электродом. Инжекция электронов осуществлялась из тлеющего разряда с полым катодом, размещенным с обратной стороны мишени. Мишень магнетронного разряда диаметром 125 мм была выполнена из меди. Давление рабочего газа (аргон) варьировалось в диапазоне от 3 до 0,5 мТорр. Разряды функционировали в непрерывном режиме. Представлены результаты влияния отражающего электрода на радиальную однородность генерируемой плазмы, а также степень его распыления. Исследовано влияние рабочего давления на радиальную однородность, поверхностную и фазовую структура осаждаемых пленок меди.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Шандриков Максим Валентинович
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2023-1-15-21
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2023
Автор(ы): Шандриков М. В., Черкасов А. А.
Ключевые фразы: магнетронный разряд, плазма, отражающий электрод, инжекция электронов, ПЛЕНКИ, magnetron discharge, plasma, electron injection, reflecting electrode, films
УДК: 537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (7)

01. Книга: ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ФИЗИКА АТОМНОГО ЯДРА И ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ учебно-методическое пособие

02. Статья: ГЕРМАНИЯ: ОТ "СТРАТЕГИЧЕСКОЙ ИНЕРТНОСТИ" К БОЛЕЕ АКТИВНОЙ РОЛИ В СФЕРЕ БЕЗОПАСНОСТИ

03. Статья: ОСОБЕННОСТИ В РАЗВИТИИ ФИЗИЧЕСКИХ КАЧЕСТВ МЛАДШИХ ШКОЛЬНИКОВ В УСЛОВИЯХ НАПРАВЛЕННОГО И КОМПЛЕКСНОГО ФИЗИЧЕСКОГО ВОСПИТАНИЯ

04. Статья: ФОРМИРОВАНИЕ ЭМОЦИОНАЛЬНО-ВОЛЕВОЙ САМОРЕГУЛЯЦИИ У УЧАЩИХСЯ МЛАДШИХ КЛАССОВ ФОРТЕПИАННОГО ОТДЕЛЕНИЯ ДЕТСКОЙ ШКОЛЫ ИСКУССТВ

05. Статья: Проблемы квалификации преступлений, связанных с незаконным проникновением в жилище

06. Статья: ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ ДЛЯ ОЦЕНКИ ОТКАЗОУСТОЙЧИВОСТИ СЕРВЕРНОГО КЛАСТЕРА

07. Выпуск: № 1, Том 57

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.