Статья: Электронно-лучевое осаждение тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия на основе железа и алюмооксидной керамики форвакуумным плазменным источником электронов

Описаны результаты эксперимента по осаждению тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия при последовательном электронно-лучевом испарении в гелии и кислороде форвакуумного диапазона давлений (5 Па) мишени из стали и алюмооксидной керамики. Методом ферромагнитного резонанса продемонстрировано наличие у покрытия магнитных свойств, рентгенографическое исследование под-твердило наличие в покрытии магнитного оксида Fe3O4, а измеренные оптическим профилометром толщины покрытий составили 3–6 мкм.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-1-61-65
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
2023
Автор(ы)
Золотухин Д. Б., Фролова В. П., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г.

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)