Статья: Получение поликристаллического кремния из моносилана газоструйным плазмохимическим методом. Моделирование и эксперимент

Скачать

Предложен метод плазмохимического получения поликристаллического кремния. Метод основан на разложении моносилана, подаваемого в реактор в виде сверхзвуковой струи и активированного с помощью электронного пучка. Проведено газодинамическое моделирование распределения потерь кремния в процессе осаждения. Определены коэффициент разложения моносилана с помощью масс-спектрометрических измерений, а также коэффициенты прилипания кремния к поверхности и коэффициент использования моносилана при помощи газодинамического моделирования и весовых измерений.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Константинов Виктор
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-2-45-49
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Константинов В. О., Щукин В. Г., Шарафутдинов Р. Г.
Ключевые фразы: поликристаллический кремний, моносилан, электронно-пучковая плазма, масс-спектрометрия, газодинамическое моделирование, polycrystalline silicon, monosilane, electron beam plasma, gas dynamic modeling, mass spectrometry
Каталог SCI: Физика
УДК: 533.5. Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника
661.681. Кремний

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОДХОДЫ К ЗАЩИТЕ АРХЕОЛОГИЧЕСКИХ ПАМЯТНИКОВ ПРИТОМЬЯ ОТ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПОВРЕЖДЕНИЙ

02. Статья: ОЦЕНКА ЭФФЕКТИВНОСТИ НЕЙТРАЛИЗАТОРА ТОКСИЧНЫХ КОМПОНЕНТОВ ДЫМОВЫХ ГАЗОВ ДЛЯ СНИЖЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ОКИСЛОВ АЗОТА В ВОЗДУШНОЙ СРЕДЕ

03. Статья: ФОРМИРОВАНИЕ ГОРОДСКОЙ СРЕДЫ В УСЛОВИЯХ ПРИРОДНО-КЛИМАТИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ СЕВЕРА СИБИРИ: ИССЛЕДОВАНИЯ 1960-Х - 1980-Х ГГ.

04. Статья: "СОЗНАТЕЛЬНО-ТОВАРИЩЕСКИЕ" НАЧАЛА ОРГАНИЗАЦИОННО-УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ МОДЕЛИ А. БОГДАНОВА

05. Статья: ИЗМЕНЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭКОНОМИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ОБРАЗОВАНИЕ В РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ЗА 2000-2022 ГГ

06. Статья: Правовое положение избирателей и наблюдателей в системе дистанционного электронного голосования в России

07. Статья: К РЕКОНСТРУКЦИИ СОЦИАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫ РАННИХ КОЧЕВНИКОВ ЮЖНОГО УРАЛА (VI-III ВВ. ДО Н.Э.): ДЕТСКИЕ ПОГРЕБЕНИЯ

08. Статья: ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ КОМПЛЕКСНОЙ ПЕРЕРАБОТКИ ОТХОДОВ МАСЛОЖИРОВОГО ПРОИЗВОДСТВА

09. Статья: ТРАДИЦИОННЫЕ И СОВРЕМЕННЫЕ ПОХОДЫ В ФОРМИРОВАНИИ ЦЕННОСТНЫХ ОРИЕНТАЦИЙ ЛИЧНОСТИ В ДИАЛОГЕ ПОКОЛЕНИЙ

10. Статья: О ФОРМИРОВАНИИ ПРЕДПОСЫЛОК СТРАТЕГИРОВАНИЯ ГОРОДСКОЙ КОНКУРЕНТОСПОСОБНОСТИ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.