Статья: Распыление карбидных пленок с поверхности титана и вольфрама ионами гелия средних энергий

Скачать

Аналитическая модель распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней применена к случаю распыления пленок карбида металла с поверхности металла ионами гелия. На основе модели получена аналитическая формула, позволяющая рассчитать полный и парциальные коэффициенты распыления неоднородных мишеней легкими ионами. Результаты расчетов полных коэффициентов распыления пленок карбидов титана и вольфрама с поверхности металлов ионами гелия приведены в сравнении с результатами компьютерного моделирования.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Манухин Владимир
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-3-67-72
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Манухин В. В.
Ключевые фразы: модифицированная поверхность, РАСПЫЛЕНИЕ, легкие ионы, ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА, карбиды металлов, слоисто-неоднородные поверхности, парциальный коэффициент распыления, modified surface, ion bombardment, sputtering, light ions, layered surface, metal carbide, partial sputtering yield, sputtering yield
Каталог SCI: Физика
УДК: 538.93. Явления переноса (кроме переноса в квантовых жидкостях и твердых телах)

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (5)

01. Статья: ОБЫЧАЙ КАК ИСТОЧНИК РОССИЙСКОГО ГРАЖДАНСКОГО ПРАВА

02. Статья: "ПРЕОДОЛЕНИЕ ТРАНСЦЕНДЕНТАЛИЗМА" В ТЕОРИИ ПОЗНАНИЯ В.В. ЗЕНЬКОВСКОГО

03. Статья: СОЦИАЛЬНЫЕ СЕТИ И ДОСТУПНЫЙ ИНТЕРНЕТ-МАРКЕТИНГ ДЛЯ МАЛОГО БИЗНЕСА

04. Статья: АГРЕССИВНОСТЬ И ВОЛЕВАЯ САМОРЕГУЛЯЦИЯ В ПОДРОСТКОВОМ ВОЗРАСТЕ

05. Статья: ПОЖАЛОВАНИЕ МЛАДШЕМУ ЛЕКАРЮ САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО ГОСПИТАЛЯ С.О. ПОЖАРСКОМУ СЕРЕБРЯНОЙ МЕДАЛИ ЗА ОТЛИЧИЕ ВО ВРЕМЯ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ ВОЙНЫ 1812 Г

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.