Статья: Формирование силицидных пленок металлов ионными методами

Скачать

Исследована возможность формирования пленок силицидов металлов ионными методами, реализованными с помощью ионно-плазменного распыления в устройстве на основе пеннинговского разряда, а также комбинацией методов термического испарения металлов в высоком вакууме с ассистированием ионным пучком кремния. Установлен механизм образования силицидных пленок на различных подложках при сравнительно низкой температуре подложек до 300 оС в условиях ограниченного воздействия плазмы. Изготовлены экспериментальные образцы на основе силицидов Mo, W, W-Re, Ti в широком диапазоне сопротивлений 20–600 Ом/□ с температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) менее 10-4 град-1, что позволяет их рекомендовать в качестве проводящих и резистивных слоев для элементов микро- и наноэлектроники. Параметры методов с ассистированием ионными пучками были установлены с помощью моделирования процессов внедрения ионов, осаждения титана с учетом распыления и последующей экспериментальной отработкой режимов при получении пленок силицидов титана. При отжиге при 700 оС состав пленок был близок к дисилициду титана, сопротивление образцов уменьшилось до 1,6 Ом/□, что позволяет рекомендовать разработанные ионные методы в КМОП-технологиях.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Данилина Тамара
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-6-68-75
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Данилина Т. И., Чистоедова И. А., Полынцев Е. С.
Ключевые фразы: силицид металла, ионно-лучевая обработка, КМОП, низкотемпературный процесс, образование силицида, metal silicide, ion-beam assistance, CMOS, low-temperature process, silicide formation
Каталог SCI: Физика
УДК: 539.231. механическим путем, например напылением

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (9)

01. Статья: КЛИНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПАЦИЕНТОВ С ТРЕВОЖНЫМИ РАССТРОЙСТВАМИ, ИМЕЮЩИХ ОПРЕДЕЛЕННЫЙ УРОВЕНЬ УПОТРЕБЛЕНИЯ АЛКОГОЛЯ1

02. Статья: Микроструктура и физико-механические свойства полимерных труб, армированных стекловолокном: 3D фрактальное моделирование

03. Статья: ХОЗЯЙСТВУЮЩИЕ СУБЪЕКТЫ, ЭКСПЛУАТИРУЮЩИЕ ТРАНСПОРТНЫЕ СРЕДСТВА, КАК АДРЕСАТЫ ТРЕБОВАНИЙПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ МЕДИЦИНСКОГО ДОПУСКА К УПРАВЛЕНИЮ ТРАНСПОРТНЫМ СРЕДСТВОМ

04. Статья: Сервитут в целях строительства, реконструкции, эксплуатации, капитального ремонта объектов электросетевого хозяйства

05. Статья: КОНЦЕПЦИЯ ФИНАНСОВОГО КОНТРОЛЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ПРОФЕССИОНАЛЬНЫХ УЧАСТНИКОВ РЫНКА ЦЕННЫХ БУМАГ В СОВРЕМЕННЫХ ЭКОНОМИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ

06. Статья: ПРИНЯТИЕ УПРАВЛЕНЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ В ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМАХ ГОСУДАРСТВЕННОГО УПРАВЛЕНИЯ В ЮЖНОЙ АФРИКЕ: РОЛЬ ГЕНЕРАЛЬНОГО АУДИТОРА ЮЖНОЙ АФРИКИ В ПОВЫШЕНИИ ЭФФЕКТИВНОСТИ

07. Статья: ЧЕРТЫ ЭКСПРЕССИВНО-ЭМОЦИОНАЛЬНОГО СТИЛЯ В РЯЗАНСКОМ ЛЕТОПИСНОМ ТЕКСТЕ (НА МАТЕРИАЛЕ МОСКОВСКОГО ЛЕТОПИСНОГО СВОДА КОНЦА XV ВЕКА)

08. Статья: КОРРУПЦИЯ И РЕВОЛЮЦИОННАЯ ДЕСТАБИЛИЗАЦИЯ: ОПЫТ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА

09. Статья: УГОЛОВНЫЙ ПРОЦЕСС: ПРОБЛЕМЫ ПРАВОВОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ДОСУДЕБНОГО ПРОИЗВОДСТВА

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.