Вход

Статья: Исследование магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы

Скачать

Приведены результаты компьютерного и лабораторного моделирования магнитной распылительной системы (МРС), используемой для физического осаждения пленок в вакууме. Приведены рекомендации по выбору геометрических параметров МРС и значениям магнитного поля.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Федотов Федор
Лицензия: —
Доступ: Всем
Просмотров: 3

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Префикс DOI: 10.51368/2307-4469-2022-10-3-301-307
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2022
Автор(ы): Федотов Ф. С., Телегин А.
Ключевые фразы: магниты, пленка, МРС, эрозия, магнитная ловушка, magnets, film, MRS, erosion, magnetic trap
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.793.18. Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)

Ранее вы смотрели (2)

01. Статья: ЦИФРОВЫЕ ТРАНСФОРМАЦИИ В СФЕРЕ УСЛУГ: ОСНОВНЫЕ ВЫЗОВЫ И ВОЗМОЖНОСТИ

02. Статья: Влияние ионизации на формирование войдов в ВЧ-разряде в условиях микрогравитации