Статья: Метод контроля загрязнения поверхности полупроводниковой пластины по изменению шероховатости

Скачать

В работе описан метод контроля загрязнения поверхности полупроводниковых пластин на различных этапах производства. Этот метод включает в себя измерение шероховатости поверхности пластины на различных этапах проводимых операций. При этом степень загрязнения контролируемой поверхности определяется по характеру и величине шероховатости.

От наличия или отсутствия загрязнения, а также от его природы и количества зависит качество промежуточных результатов технологического процесса и необходимость выполнения тех или иных технологических операций, что, в свою очередь, напрямую связано с конечными характеристиками фоточувствительных элементов.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Трухачев Антон
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2020
Автор(ы): Трухачев А. В., Трухачева Н. С., Седнев М. В., Алеев Р. М.
Ключевые фразы: метод контроля загрязнения, шероховатость поверхности, полупроводниковая пластина, method for monitoring contamination, surface roughness, semiconductor wafer
Каталог SCI: Физика
УДК: 620.179.118. Контроль шероховатости. Измерение шероховатости

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (4)

01. Статья: ЭКСПЕРТНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ФАКТОРОВ, ОКАЗЫВАЮЩИХ НАИБОЛЬШЕЕ ВЛИЯНИЕ НА БЕЗОПАСНОСТЬ ТРУДА В ПУТЕВОМ КОМПЛЕКСЕ ЖЕЛЕЗНЫХ ДОРОГ

02. Статья: ОЦЕНКА ЛИЧНОСТНОГО ПОТЕНЦИАЛА И ЛИДЕРСКИХ КАЧЕСТВ КВАЛИФИЦИРОВАННЫХ ФУТБОЛИСТОК

03. Статья: Особенности функционирования генератора случайных чисел с транзисторным источником шума в различных температурных условиях

04. Статья: Частота выявления от больных животных и генетический полиморфизм сибирских изолятов респираторно- синцитиального вируса крупного рогатого скота (Pneumoviridae: Orthopneumovirus; BRSV), выявленных на территориях Уральского и Сибирского федеральных округов

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.