Статья: Лазерное плазмохимическое травление материалов электронной техники на примере алмаза и сапфира

Скачать

В работе рассмотрены вопросы лазерного плазмохимического травления материалов электронной техники на примере разделения пластин алмаза и сапфира на кристаллы. В основе разработанного метода лежит физическое явление – оптический пробой в специально подобранных газовых средах, в которых поджигается плазма и производится плазмохимическое травление материалов подложек (пластин) с образованием летучих продуктов химических реакций и их эвакуацией с помощью вакуумной системы. Работы проводились в диапазоне рабочих давлений 110-3–110-1 Торр. В качестве рабочих сред использовались фторидные системы: (SF6 + O2; CClF3 + O2; F2 и т. д.), чистый кислород (О2) и водород (Н2). Обе системы – фторидная и кислородная «работают» хорошо для алмаза. Водородная система предпочтительна для сапфира.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Кондратенко Владимир
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2021-1-12-16
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2021
Автор(ы): Кондратенко В. С., Мальцев П. П., Редькин С. В.
Ключевые фразы: лазер, плазма, КРИСТАЛЛЫ, пластина, плазмохимия, травление, laser, plasma, crystals, plate, plasma chemical, etching
Каталог SCI: Физика
УДК: 533. Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы
53.02. Общие законы физических явлений
53.04. Действия явлений, эффекты
53.06. Использование явлений в практических целях

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (7)

01. Книга: Лагерь школе и обществу: здоровый образ жизни, здоровьесберегающие и развивающие технологии, инклюзивная культура

02. Статья: ФИТНЕС В РАБОТЕ С ДЕТЬМИ С ОГРАНИЧЕННЫМИ ВОЗМОЖНОСТЯМИ ЗДОРОВЬЯ

03. Статья: ЛИНГВОКРЕАТИВНЫЕ ПРАКТИКИ СОВРЕМЕННОГО СЛОВОТВОРЧЕСТВА (НА МАТЕРИАЛЕ НЕМЕЦКОГО И РУССКОГО ЯЗЫКОВ)

04. Книга: Ван Янь-сю. Предания об услышанных мольбах (Гань ин чжуань)

05. Статья: ИННОВАЦИОННАЯ ПОЛИТИКА СОВРЕМЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО ВУЗА: ПОДХОД К ФОРМИРОВАНИЮ И РЕАЛИЗАЦИИ

06. Статья: СЕМАНТИЧЕСКОЕ ПОЛЕ "ВЛАСТЬ" В РОМАНЕ ВЛАДИМИРА МАКСИМОВА "КОВЧЕГ ДЛЯ НЕЗВАНЫХ"

07. Статья: ВЫБОР ЗАКОННОГО СОСТАВА СУДА В РОССИЙСКОМ УГОЛОВНОМ СУДОПРОИЗВОДСТВЕ: ДИСКУССИИ ОТНОСИТЕЛЬНО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ИСКУССТВЕННОГО ИНТЕЛЕКТА ПРИ ОТПРАВЛЕНИИ ПРАВОСУДИЯ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.