Статья: Об импедансе высокочастотного емкостного разряда при различных способах возбуждения

Скачать

Рассмотрена задача о емкостном ВЧ-разряде низкого давления ( << ) с электродами большой площади при возбуждении его электромагнитным полем частотой от 13 до 900 МГц. Получены общие аналитические формулы для амплитуд собственных волн и импеданса разряда. Учтено, что возбуждение поверхностных волн и высших нераспространяющихся мод происходит как благодаря осевой неоднородности структуры «плазма-слой-металл», так и за счет краевых эффектов у среза электрода. Более высокая амплитуда резонансных мод в сравнении с возбуждением разряда ТЕМ-волной в данном случае приводит к бо́льшей изрезанности зависимости импеданса разряда от плотности электронов. Данный вывод подтвержден прямым расчетом импеданса с помощью программы Comsol Multiphysics®.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Двинин Сергей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2021-3-33-38
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2021
Автор(ы): Двинин С. А., Синкевич О. А., Кодирзода З. А., Солихов Д. К.
Ключевые фразы: низкотемпературная плазма, поверхностные высокочастотные электромагнитные волны, импеданс плазмы, высокочастотный разряд, low-temperature plasma, surface high-frequency electromagnetic waves, plasma impedance, high-frequency discharge
Каталог SCI: Физика
УДК: 533.9. Физика плазмы

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ ШКОЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ОБРАЗОВАНИЯ (НА ПРИМЕРЕ РЕСПУБЛИКИ БАШКОРТОСТАН)

02. Статья: ЕВРОПА В КОНТЕКСТЕ МНОГОСТОРОННИХ УГРОЗ

03. Статья: Transparency in Public Administration in the Digital Age: Legal, Institutional, and Technical Mechanisms

04. Книга: Литература

05. Статья: ИСКУССТВЕННЫЙ ИНТЕЛЛЕКТ В АРТ-ИНДУСТРИИ

06. Статья: I ГРАНБЕРГОВСКАЯ ШКОЛА-СИМПОЗИУМ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО ПРОСТРАНСТВЕННЫМ ИССЛЕДОВАНИЯМ

07. Статья: СТРАТЕГИИ РАЗВИТИЯ КУЛЬТУРНОГО ОБМЕНА СРЕДИ СТУДЕНТОВ ВУЗОВ В ПРИГРАНИЧНЫХ РАЙОНАХ КИТАЯ И РОССИИ

08. Статья: РЕАЛИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЙ СОЦИАЛЬНОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ ЛИЦ БЕЗ ОПРЕДЕЛЕННОГО МЕСТА ЖИТЕЛЬСТВА В УСЛОВИЯХ ПАНСИОНАТА КРУГЛОСУТОЧНОГО УХОДА

09. Статья: КОНСТАНТИН НИКОЛАЕВИЧ ИГУМНОВ: ПРОРАСТАНИЕ ТРАДИЦИЙ

10. Статья: ОСОБЕННОСТИ УЧЕБНОЙ МОТИВАЦИИ У СТУДЕНТОВ МЕДИЦИНСКОГО ПРОФИЛЯ ПОДГОТОВКИ С РАЗЛИЧНЫМ УРОВНЕМ ПСИХОЛОГИЧЕСКОГО КАПИТАЛА

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.