Статья: Влияние режимов диффузии фосфора на формирование дефектов в окисле

Скачать

С использованием оптической микроскопии, РЭМ, атомно-силового микроскопа и профилометра определены форма, размеры и примесный состав локальных дефектов, возникающих в слое двуокиси кремния при диффузии фосфора. Причиной образования дефектов в пассивирующем окисле при диффузии фосфора является локальное плавление SiO2 при взаимодействии с жидкими каплями фосфорно-силикатного стекла. Снижение температуры процесса осаждения (загонки) фосфора и концентрации POCL3 в газовом потоке приводит к уменьшению плотности дефектов окисла.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Вильдяева Мария
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2021-5-53-57
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2021
Автор(ы): Вильдяева М. Н., Макарова Э. А., Климанов Е. А., Малыгин В. А.
Ключевые фразы: диффузия, дефекты, окисел, режим, фосфор, двуокись кремния, diffusion, defects, OXIDE, mode, phosphorus, silicon dioxide
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.383. Фотоэлектроника

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: МОДАЛЬНЫЕ КАТЕГОРИИ ПОРТУГАЛЬСКОЙ ГРАММАТИКИ В ЗЕРКАЛЕ ЛОГИЧЕСКОГО АНАЛИЗА - I

02. Книга: Философия науки в вопросах и ответах: Учебное пособие для аспирантов

03. Статья: РАЗВИТИЕ КАК КЛЮЧЕВОЕ ОЦЕНОЧНОЕ ПОНЯТИЕ ТРАНСФОРМАЦИИ ПРОСТРАНСТВЕННЫХ СИСТЕМ

04. Статья: Определение температурных напряжений при возведении монолитных толстостенных цилиндрических оболочек

05. Статья: Сравнительный анализ эффективности антибиотикотерапии и комбинированного применения антибиотиков с лактобактериями и проантоцианидинами в лечении бессимптомной бактериурии у юных беременных: рандомизированное проспективное исследование

06. Статья: А. А. БОГДАНОВ О РОЛИ НАУКИ

07. Статья: МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОКРЫТИЯ ПРЕСТУПЛЕНИЯ УГРОЗЫ ЗАВЛАДЕНИЯ ЧУЖИМ ИМУЩЕСТВОМ

08. Статья: АНАЛИЗ И ОЦЕНКА МЕХАНИЗМОВ АДАПТАЦИИ КАДРОВОЙ ПОЛИТИКИ ОРГАНИЗАЦИИ НА ПРИМЕРЕ ООО "САМАРСКАЯ СМК"

09. Статья: ПРОБЛЕМЫ РЕФОРМИРОВАНИЯ И НАПРАВЛЕНИЯ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ ГОСУДАРСТВЕННОГО УПРАВЛЕНИЯ НА УРОВНЕ СУБЪЕКТА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

10. Статья: ПРИМЕНЕНИЕ ИСКУССТВЕННОГО ИНТЕЛЛЕКТА В УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ДИАГНОСТИКЕ УЗЛОВЫХ ОБРАЗОВАНИЙ ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЫ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.