Статья: Лазерная резка кремниевых подложек изготовленных методом Taiko

Описан результат успешного применения метода лазерного управляемого термораскалывания при резке кремниевых подложек Тайко (Taiko) толщиной 50–250 мкм по замкнутому круговому контуру.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Лицензия
Доступ
Всем
Просмотров
7

Предпросмотр документа

Информация о статье

Ранее вы смотрели (10)