Статья: Исследование работы геттерно-ионного сверхвысоковакуумного насоса орбитронного типа

В статье представлены результаты исследования работы вакуумного орбитронного геттерноионного насоса (ОГИН) с азотной криопанелью. Описаны конструктивные особенности ОГИН и режимы его работы. С помощью масс-спектрометра МХ7304А изучен состав остаточной атмосферы металлической прогреваемой вакуумной камеры при ее откачивании с помощью ОГИН до сверхвысокого вакуума в зависимости от режимов его работы. Показано, что особенностью масс-спектров остаточной атмоферы является полное отсутствие в них пиков тяжелых углеводородов. Основной составляющей остаточной атмосферы (определяющей предельное разрежение насоса) при водяном охлаждении ОГИН является метан СН4. При использовании азотной криопанели при давлении в камере Р = 210-8 Па основной составляющей остаточной атмосферы является водяной пар Н2О, и поэтому при тщательном обезгаживании вакуумной камеры использование орбитронного насоса с азотной криопанелью позволяет получать сверхвысокий безмасляный вакуум лучше 10-8 Па.