Книга: ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК РЕЗИСТИВНЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

Скачать

Учебное пособие предназначено для студентов, изучающих вакуумную технику и технологию полупроводниковых приборов.

Информация о документе

ISBN: 9785833608920
Год публикации: 2016
Автор(ы): Силаев И. В., Радченко Т. И., Гергиева Б. Э., Магкоев Т. Т.
Библиографическая запись: Силаев И. В., Радченко Т. И., Гергиева Б. Э., Магкоев Т. Т.
Физико-химические основы и технология получения тонких
пленок резистивным напылением: учебное пособие;
Сев.-Осет. гос. ун-т. Владикавказ: Изд-во СОГУ, 2016. – 136 с.
Ключевые фразы: тонкие плёнки
Каталог SCI: Физика
ББК: 22.3. Физика