Книга: Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответ ствующей области.
Информация о документе
- Формат документа
- PDF, DJVU
- Кол-во страниц
- 186 страниц
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем
- Просмотров
- 7
Предпросмотр документа
Информация о книге
- ISBN
- 9785947749106
- Издательство
- БИНОМ
- Год публикации
- 2010
- Каталог SCI
- Нанотехнология