Доклад: Исследование процессов травления жертвенного слоя в МЭМС-структурах микроболометрических матричных детекторов

Докладчик
Автор(ы)
Бетрозов С. Б., Сильницкая О.А., Худаяров З.Ф., Мезенцев Г.А., Хафизов Р.З.
Тип доклада
Устный
Секция программы
секция не определена

Обсуждение доклада

Новых тем пока нет

Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.