Кралькина Елена Александровна
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Работы:
21
Вавилин Константин Викторович
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Работы:
18
Андрианов Николай Александрович
Область научных публикаций:
algangan, hemt, плазменная обработка
Работы:
4
Смирнов Александр Сергеевич
Область научных публикаций:
algangan, hemt, плазменная обработка
Работы:
4
Кобелев Антон Андреевич
Область научных публикаций:
плазменная обработка, источник электронов, высокочастотный емкостный разряд
Работы:
2
Барсуков Юрий Владимирович
Область научных публикаций:
плазменная обработка, реактивное ионное травление, высокочастотный разряд
Работы:
1
- 1
- 2