Кралькина Елена Александровна
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Кол-во работ:
17
Вавилин Константин Викторович
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Кол-во работ:
15
Никонов Александр Михайлович
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Кол-во работ:
11
Неклюдова Полина Алексеевна
Область научных публикаций:
плазма, разряд, высокочастотный
Кол-во работ:
5
Андрианов Николай Александрович
Область научных публикаций:
algangan, hemt, плазменная обработка
Кол-во работ:
4
Смирнов Александр Сергеевич
Область научных публикаций:
algangan, hemt, плазменная обработка
Кол-во работ:
4
Кобелев Антон Андреевич
Область научных публикаций:
плазменная обработка, источник электронов, высокочастотный емкостный разряд
Кол-во работ:
2
Барсуков Юрий Владимирович
Область научных публикаций:
плазменная обработка, реактивное ионное травление, высокочастотный разряд
Кол-во работ:
1
- 1
- 2