Борисов Б. С.
Область научных публикаций:
ионный луч, субмикронная литография, десорбция дихлорида палладия
Работы:
1
Залялютдинов М. К.
Область научных публикаций:
ионный луч, субмикронная литография, десорбция дихлорида палладия
Работы:
1
Кириленко Е. П.
Область научных публикаций:
ионный луч, субмикронная литография, десорбция дихлорида палладия
Работы:
1
Трифонов А. Ю.
Область научных публикаций:
ионный луч, субмикронная литография, десорбция дихлорида палладия
Работы:
1