Статья: IN SITU СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ В МОНОКРИСТАЛЛЕ АЛМАЗА ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ В ПРОЦЕССЕ РОСТА В СВЧ-ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ (2026)

Читать онлайн

Мы измерили спектры комбинационного рассеяния (КР) монокристалла алмаза в процессе эпитаксиального роста в СВЧ-плазмохимическом реакторе в смеси водород-метан при различных температурах подложки. Из величины смещения пика 1-го порядка КР в спектре определяли температуру кристалла. Показано, что in situ КР позволяет измерять температуру подложки с более высокой точностью по сравнению с пирометрическим методом, что важно для контроля процесса синтеза CVD алмаза.

Ключевые фразы: комбинационное рассеяние, синтез алмаза, свч плазма, БЕСКОНТАКТНОЕ ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
Автор (ы): ЮРОВ В.Ю. (YUROV V.YU.), БОЛЬШАКОВ А.П. (BOLSHAKOV A.P.), ПОПОВ М.Ю. (POPOV M.YU.), ФЕДОРОВА И.А. (FEDOROVA I.A.), РЫЖКОВ С.Г. (RYZHKOV S.G.), ПИВОВАРОВ П.А. (PIVOVAROV P.A.), Волков П.В. (Volkov P.V.), Ральченко Виктор Григорьевич (Ralchenko V. G.)
Журнал: КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ ПО ФИЗИКЕ ФИАН

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53. Физика
Для цитирования:
ЮРОВ В.Ю., БОЛЬШАКОВ А.П., ПОПОВ М.Ю., ФЕДОРОВА И.А., РЫЖКОВ С.Г., ПИВОВАРОВ П.А., ВОЛКОВ П.В., РАЛЬЧЕНКО В. Г. IN SITU СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ В МОНОКРИСТАЛЛЕ АЛМАЗА ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ В ПРОЦЕССЕ РОСТА В СВЧ-ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ // КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ ПО ФИЗИКЕ ФИАН. 2026. № 2, ТОМ 53
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.