1. Mansfeld D., Sintsov S., Chekmarev N., Vodopyanov A. // J. CO2 Util. 2020. V. 40. P. 101197. EDN: PXBZHM
2. Sintsov S.V., Vodopyanov A.V., Viktorov M.E., Moroz-kin M.V. and Glyavin M.Yu. // J. Infrared Millim. Terahertz Waves. 2020. V. 41. P. 711. EDN: XBWTQX
3. Vodopyanov A.V., Mansfeld D.A., Chekmarev N.V., Viktorov M.E., Nikolaev A.G., Yushkov G.Yu. // Proc. SPIE. 2020. V. 11582. P. 115820Z-1.
4. Vodopyanov A.V., Sidorov A.V., Razin S.V., Dubinov I.D., Sintsov S.V., Proyavin M.D., Morozkin M.V., Fokin A.P., Glyavin M.Yu. // Proc. of 43rd Internat. Confer. on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. 2018. P. 8510395.
5. Shalashov A.G., Vodopyanov A.V., Abramov I.S., Sido-rov A.V., Gospodchikov E.D., Razin S.V., Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Glyavin M.Yu., and Golubev S.V. // Appl. Phys. Lett. 2018. V. 113. P. 153502.
6. Thumm M. // J. Infrared Millim. Terahertz Waves. 2020. V. 41. P. 1. EDN: LJFORK
7. Glyavin M.Yu., Golubev S.V., Izotov I.V., Litvak A.G., Luchinin A.G., Razin S.V., Sidorov A.V., Skalyga V.A., and Vodopyanov A.V. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 105 P. 174101.
8. Brown I.G.. The Physics and Technology of Ion Sources. WILEY-VCH Verlag GmbH and Co. KGaA, 2004.
9. Bakshi V. EUV Lithography. Second Edition. Bellingnham, WA: SPIE, 2018.
10. Райзер Ю.П. // Физика газового разряда. - 3-е изд. перераб. и доп. Долгопрудный: Издательский дом “Интеллект”, 2009. С. 537.
11. Райзер Ю.П. // Письма в ЖЭТФ. 1970. Т. 11. С. 195.
12. Герасименко М.В., Козлов Г.И., Кузнецов В.А. // Квантовая электроника. 1983. Т. 10. С. 709.
13. Райзер Ю.П. // УФН. 1980. Т. 132. С. 549.
14. Райзер Ю.П., Суржиков С.Т. // Квантовая электроника. 1984. Т. 11. С. 2301.
15. Райзер Ю.П., Суржиков С.Т. // ТВТ. 1985. Т. 23. С. 29.
16. Abramov I.S., Gospodchikov E.D., Shalashov A.G. // Phys. Rev. Applied. 2018. V. 10. P. 034065.
17. Шалашов А.Г., Абрамов И.С., Голубев С.В., Господчиков Е.Д. // ЖЭТФ. 2016. Т. 150 (2). С. 254. EDN: WXGIJL
18. Shalashov A.G., Golubev S.V., Abramov I.S., Gospodchikov E.D. AIP Conf. Proc. 2016. V. 1771 (1). P. 070001.
19. Абрамов И.С., Господчиков Е.Д., Шалашов А.Г. // Изв. вузов. Радиофизика. 2015. Т. 58 (12). С. 1022. EDN: VIZCQR
20. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Golubev S.V., Mansfeld D., Vodopyanov A.V., Sjmaenok L. // J. Micro/ Nanolithogr. MEMS MOEMS. 2012. V. 11 (2). P. 021123.
21. Боханов А.Ф., Зорин В.Г., Изотов И.В., Разин С.В., Сидоров А.В., Скалыга В.А. // Физика плазмы. 2007. Т. 33 (5). С. 387. EDN: IBAQOZ
22. Semenov V., Skalyga V., Smirnov A., Zorin V. // Rev. Sci. Instrum. 2002. V. 73 (2). P. 635. EDN: UZWNTF
23. Golubev S.V., Razin S.V., Semenov V.E., Smirnov A.N., Vodopyanov A.V., Zorin V.G. // Rev. Sci. Instrum. 2000. V. 71 (2). P. 669. EDN: LGIVEJ
24. Соколова И.М. // ПМТФ. 1973. Т. 2. С. 80.
25. Брагинский С.И. // Вопросы теории плазмы. Вып. 1. М.: Атомиздат, 1963. С. 183.
26. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика: Учебное пособие. В 10 т. Т. VI. Гидродинамика. 3 е изд., перераб. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.
27. Лойцянский Л.Г. // Механика жидкости и газа: Учеб. для вузов. 7-е изд., испр. М.: Дрофа, 2003. С. 120.
28. Чукбар К.В. // ВАНТ. Сер. Термоядерный синтез. 2021. Т. 44 (3). С. 107. EDN: HOUSQW
