Статья: Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В. В. Юдина (2022)

Читать онлайн

Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения R̅ p и среднее нормальное отклонение проекции пробега ΔR̅ p. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления R̅ p и ΔR̅ p. Основой алгоритма программы является теория Линхарда–Шарфа–Шиота.

Ключевые фразы: ион, мишень, проективный пробег, страгглинг, упругие потери энергии, неупругие потери энергии
Автор (ы): Утамурадова Шарифа Бекмурадовна, Муминов Рамизулла Абдуллаевич, Дыскин Валерий Григорьевич, Тукфатуллин Оскар Фаритович
Журнал: COMPUTATIONAL NANOTECHNOLOGY

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
539.1. Ядерная, атомная, молекулярная физика
Для цитирования:
УТАМУРАДОВА Ш. Б., МУМИНОВ Р. А., ДЫСКИН В. Г., ТУКФАТУЛЛИН О. Ф. ПРОГРАММА ДЛЯ РАСЧЕТА ПРОЕКТИВНОГО ПРОБЕГА И СТРАГГЛИНГА ИОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АППРОКСИМАЦИИ В. В. ЮДИНА // COMPUTATIONAL NANOTECHNOLOGY. 2022. № 4, ТОМ 9
Текстовый фрагмент статьи