Статья: ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ

Скачать

Пленки оксида гафния HfOx толщиной около 40 нм получены методом электронно-лучевого напыления при различных значениях потока кислорода в камере. Изучены электрофизические свойства пленок на воздухе и в вакууме. Показано, что температурные зависимости проводимости пленок, измеренные в вакууме в диапазоне температур от 20 до 180◦ C, имеют активационный характер с энергией активации 0.82±0.02 эВ. Сделано предположение, что в полученных пленках перенос заряда определяется активацией электронов в зону проводимости с донорного уровня, связанного с кислородными вакансиями. Обнаружено, что проводимость пленок на воздухе сильно изменяется при варьировании потока кислорода, в то время как в вакууме проводимость практически не зависит от потока кислорода. Это свидетельствует о существенных отличиях в свойствах поверхности пленок, полученных при разных потоках кислорода в камере в процессе напыления.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Кучумов Иван Дмитриевич
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 0579-9392
Журнал: ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ
Год публикации: 2024
Автор(ы): Кучумов И. Д., Мартышов М. Н., Жигунов Д. М., Ильин А. С., Павликов А. В., ФОРШ П. А., КАШКАРОВ П. К.
Ключевые фразы: ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ, тонкие плёнки, ПРОВОДИМОСТЬ, ОКСИД ГАФНИЯ, МЕМРИСТОРЫ, РЕЗИСТИВНОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ, НЕЙРОМОРФНЫЕ СЕТИ
УДК: 537.311.1. Природа электропроводности. Теория движения электронов в проводниках

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (2)

01. Статья: К КОНСТИТУЦИОННОЙ ТЕОРИИ ГОСУДАРСТВЕННЫХ ФУНКЦИЙ

02. Книга: Новое в жизни, науке, технике. Торговля и бытовое обслуживание. №4/1974. Автомат за «прилавком»

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.