ISSN 2542-0453 · EISSN 2541-7533
Язык: ru

Статья: ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ, ОПТИЧЕСКИХ И ЭЛЕКТРОННЫХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЁНОК MG2SI НА SI (111) (2024)

Читать онлайн

Представлены результаты исследования элементного состава, морфологии поверхности, оптических и электронных свойств тонких плёнок Mg2Si, сформированных на Si (111). Оба образца, содержащие плёнки, формировались послойно методом реактивной эпитаксии, но при разной температуре прогрева подложек. Сформированные плёнки, состоящие из чередующихся слоёв Mg и Si в соотношении 3:1, по данным электронной оже-спектроскопии содержат атомы Mg и Si в соответствующих слоях. Методом комбинационного рассеяния света установлено наличие на графиках образцов пиков при сдвиге 258 и 348 см-1, принадлежащих Mg2Si. Данные инфракрасной спектроскопии также свидетельствуют о наличии силицида магния в составеплёнок. Проведена оценка толщины выращенных плёнок Mg2Si, исходя из известных данных о зависимости амплитуды пиков поглощения при 272 см-1 от коэффициента поглощения. По результатам исследования образцов в инфракрасном-ультрафиолетовом диапазоне и на основегеометрических расчётов определена ширина запрещённой зоны Mg2Si.

Ключевые фразы: силицид магния, тонкие плёнки, реактивная эпитаксия, морфология поверхности, атомно-силовая микроскопия, ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, ширина запрещенной зоны, непрямые и прямые переходы
Автор (ы): Фомин Дмитрий Владимирович
Соавтор (ы): Поляков Алексей Вячеславович, Галкин Константин Николаевич, Галкин Николай Геннадьевич
Журнал: ВЕСТНИК САМАРСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. АЭРОКОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА, ТЕХНОЛОГИИ И МАШИНОСТРОЕНИЕ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
535.375.54. Комбинационное рассеяние света в твердых телах
535-15. Инфракрасные лучи
538.975. Физика тонких пленок, нитевидных кристаллов и дендритов
681.782.473. Оптоэлектронные устройства
Для цитирования:
ФОМИН Д. В., ПОЛЯКОВ А. В., ГАЛКИН К. Н., ГАЛКИН Н. Г. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ, ОПТИЧЕСКИХ И ЭЛЕКТРОННЫХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЁНОК MG2SI НА SI (111) // ВЕСТНИК САМАРСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. АЭРОКОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА, ТЕХНОЛОГИИ И МАШИНОСТРОЕНИЕ. 2024. Т. 23 № 1
Текстовый фрагмент статьи